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X射線不同方向入射界面產(chǎn)生劑量增強的模擬研究
為了研究X射線入射方向對界面劑量增強的影響,通過建立一個典型的金/硅界面結構模型,采用MCNP蒙卡計算程序計算50keV能量X射線以不同的方向入射界面時在規(guī)定的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的能量沉積,進而得到劑量增強系數(shù).
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